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  • 產品名稱:雙電測四探針測試儀 型號:KDB-3

  • 產品型號:KDB-3
  • 產品廠商:同德
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簡單介紹:
雙電測四探針測試儀 型號:KDB-3 KDB-3雙組合測試儀是根據標準SEMI MF1529設計,雙組合測試方法使用四探針的方式不同于其他ASTM測量半導體電阻率或薄層電阻的方法。在本測試方法中,
詳情介紹:

雙電測四探針測試儀  型號:KDB-3

 KDB-3雙組合測試儀是根據標準SEMI MF1529設計,雙組合測試方法使用四探針的方式不同于其他ASTM測量半導體電阻率或薄層電阻的方法。在本測試方法中,在測試樣品的每個測量位置上,以兩種不同的方式(配置)將探針連接到提供電流和測量電壓的電路中。四探針的這種使用法通常被稱為“雙配置”或“配置切換”測量。單組合四探針相比,用較小間距的探針頭就可以進行高精度的測量,從而可獲得更高的晶片薄層電阻變化的空間分辨率。  
儀器特點如下:  
1、配有雙數字表:一塊數字表在測量顯示硅片電阻率的同時,另一塊數字表(以萬分之幾的精度)適時監測全過程中的電流變化,使操作更簡便,測量更**。  
數字電壓表量程:0—199.99mV  靈敏度:10μV  輸入阻抗:1000ΜΩ  
                        基本誤差±(0.04-0.05%讀數+0.01%滿度)  
2、可測電阻率范圍:10—4 —1.9×104Ω·cm。  
     可測方塊電阻范圍:10—3 —1.9×105Ω/□。  
3、設有電壓表自動復零功能,當四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,只有1、4探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值;同樣,當四探針頭1、3探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,只有1、3探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表才指示2、4探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對測量的干擾。  
4、流經硅片的測量電流由高度穩定(萬分之五精度)的特制恒流源提供,不受氣候條件的影響,整機測量精度<3%。  
電流量程分五檔:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。  
5、儀器采用觸點電阻更低(<5mΩ)、使用壽命更長的轉換開頭及繼電器(>10萬次),在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的系數,提高了測試儀的可靠性和使用壽命。  
6、可選配專用軟件進行數據采集,可進行雙組合或單組合測量,實現自動切換電壓檔位、讀取相應電壓值,根據不同方法計算電阻率或方塊電阻值;軟件可對測量數據進行分析,如平均值,大值、小值、大百分變化率、平均百分變化率、徑向不均勻度等內容。  
7、可配KDDJ-3電動測試架,自動上下運行,使測量更方便快捷。  
8、四探針頭采用上先進的紅寶石軸套導向結構,使探針的游移率減小,測量重復性提高

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